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Steuerungsseitige Optimierung von Ultrapräzisionsprozessen zur wirtschaftlichen Fertigung von komplexen Mikrostrukturen. Innerhalb des Projekts werden moderne steuerungs- und regelungstechnische automatisierte Optimierungen in einen Ultrapräzisionsprozess integriert um den heutigen Produktionsstandards im Bereich scharfkonturiger Mikrostrukturen gerecht zu werden. … Read more